Design/Equipment +3


◎ 건식 로타리 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP)
◎ 만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP)
◎ 순환 급유식 로타리베인 펌프 (OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP)
◎ 배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL INJECTED ROTARY VANE PUMP)
◎ 로타리 피스톤 펌프 (ROTARY PISTON PUMP)
◎ 로타리 기어 펌프 (ROTARY GEAR PUMP)
◎ 피스톤 펌프 (PISTON PUMP)
◎ 다이아후렘펌프 (DIAPHRAM PUMP)
◎ 루츠 펌프 (ROOTS PUMP)
◎ 수봉식 펌프 (LIQUID RING PUMP)
◎ 터보 분자 펌프 (TURBO MOLECULAR PUMP)
◎ 확산 펌프 (DIFFUSION PUMP)
◎ 이젝타펌프 (STEAM EJECTOR/GAS EJECROR)
◎ 흡착 펌프 (ABSORPTION PUMP)
◎ 이 온 펌프 ( ION PUMP)
◎ 게터 펌프 (GETTER PUMP)
◎ 승화펌프 (SUBLIMATION PUMP)
◎ 저온 펌프 (CRYO PUMP)


이와 같이 진공펌프의 종류가 여러 가지로 구분되고 있는 것은, 각 펌프의 작동 원리가 서로 다르고, 이에 따라 펌프의
최대 진공도 및 쓰이는 용도가 각기 다르기 때문입니다.

◎ 로타리 베인 펌프
일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본원리는 옆의 그림과 같다. 그림에서 보면 내부 구조가 로타 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로타의 중심과 실린더의 중심은 편심되어 있다.

베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이
생기게 되고, 이 공간은 로타의 회전에 따라 용적이 달라지게 된다.

한쪽, 베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적은 점차 커지게 되고, 다음 베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간용적은 최대가 된다. 이렇게 하여 흡기부로부터 빨아들인 공기는 다음 단계에서 압축이 되고 이것이 배기부를 지나면서 배출이 되는 것이다.

로타리 베인 펌프의 최대 진공도는 1+10Torr정도의 영역에 그치고 있으나, 루츠펌프 및 확산펌프와 연결되어 고진공이 요구되는 공정에도 다양하게 쓰이고 있으므로, 오늘날 산업 전반에 걸쳐 가장 널리 쓰이고 있고 기종이라 할 수 있다.

◎ 부스터 펌프
두개의 리본모양의 회전 로타가 쌍을 이루며 회전함으로써 공기를 함입하여 배기시키는 것이다. 주로 저진공, 중진공 영역에서 많이 쓰이며, 용량이 대용량이므로 다량의 공기를 배기시키는데 유리하다.

특히1Torr부터 10Torr 의 영역에서 대용량의 배기능력을 가지고 있으므로, 식품의 동결건조 공정등에서 우수한 성능을 발휘한다. 그러나 배기부가 대기압인 경우 배기 능력을 상실하므로, 로타리 베인 펌프 등 다른 보조펌프와 연결하여 사용되고 있다.

◎ 확산 펌프
확산펌프는 액체(일반적으로 확산유)를 가열하여 증발시킨 다음이를 노즐을 통해 고속으로 분사 시킴으로써, 이때 충돌하는 공기입자를 아래로 끌어 내려 보조펌프(일반적으로 로타리
베인 펌프)를 통해 배출시키는 것이다.

이 기종의 펌프들은 대체로 구조가 간단하고 기계적인 운동을
하지 않으므로 사용이 간편하여, 고진공을 얻는데 많이 사용되고 있습니다. 그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야만 한다.

◎ 크라이오 펌프
크라이오 펌프란?
크라이오 펌프란 진공용기 내에 극저온 면을 설치하여 용기내의 기체분자를 응축 또는 흡착 시키는 배기 Pump이다.
크라이오 펌프가 기체를 유효하게 배기하기 위해서는 응축의 경우에는 증기압이 흡착의 경우에는 흡착평형 압력이
10-8Pa이하로 되어있지 않으면 않된다. (그림1-1)의 곡선은 각종 기체의 증기압을 표시한 것으로 질소보다 증기압이 낮은 기체는 극저온 면 (Cryo 또는 Cryo Panel)이 20K 이하로 냉각 되어 있으면 그 증기압은 10-8Pa이하로 되는 것을 알수있다. 수소(H2),헬륨(He),네온(Ne)과 같이 증기압이 높은 기체는 20K 또는 응축에 의해 배기 하는 것이 불가능하므로 20K이하로 냉각된 흡착제(활성탄)에 의해 배기된다. 이와 같이 크라이오 펌프는 모든 기체를 배기할 수가 있고 초고진공을 얻을 수가 있다.


크라이오 펌프의 작동 원리와 구조
크라이오 펌프에 사용되는 냉동기는 2단으로 되어 있고 1단은 냉동 능력이 큰 80K 이하로 냉각 할 수가 있고 2단은 냉동능력이 작은 10K~20K(켈빈)으로 냉각할 수가 있다.
15K Cryo Panel(1) (응축 Panel)과 15K Cryo Panel(2) (흡착 Panel)은 냉동기의 2단에 부착되어 있고 냉동능력이 큰 1단에 부착되어 있는 80K Shield와 80K Buffle은 실온의 방사(복사)열로부터 펌프를 보호를 하고 있다.

크라이오 펌프가 배기하는 주요 기체
A.공기(N2,O2) : 진공장치 초기 Pumping후의 잔류기체.
B.방출(H2O) : 진공용기의 벽면에 흡착(통상의 진공장치에는 최대의 성분)
Glass,플라스틱,세라믹,등으로 부터의 방출 Gas
(H2) : 진공용기의 금속벽 내부의 확산 방출 (초고진공,극 진공에서 문제)
고온,용해금속(특히Al) 으로의 방출(증착,Sputter)
(CO,CO2,CH4) : 진공장치 벽면의 오염.
C.도입Gas (Ar) : Sputter장치
(H2) : Ion 주입
(O2) : 산화물
증기압 곡선에서 보면 수증기(H2O)는 Cryo면의 온도가 130K이라 하면 증기압은 10-8Pa 이하로 되기 때문에 80K이하로 냉각된 Shield와 Buffle에 응축하여 배기되는 것이다.
질소(N2),산소(O2),아르곤(Ar)등의 기체는 80K에서는 증기압이 높기 때문에 응축을 하지 않고 20K이하의 Cryo panel 표면에 응축하여 배기 된다.
헬륨(He),수소(H2),네온(Ne)등의 증기압이 높은 기체는 10K~20K Level의 온도에서는 응축하지 않기 때문에 Cryo panel(응축Panel)의 내측에 부착되어 있는 흡착제에 의해 흡착되어 배기 된다.

◎ 드라이 펌프
드라이 펌프란?
반도체,LCD 관련의 진공 장치에서는 활성Gas를 사용하는 조건하에 배기할 필요성이 있고 유확산 Pump의 Oil과 Gas가 반응하여 반응 생성물이 발생할 경우가 있다.
이런 생성물은 Pump 본체의 부식 및 회전 불능 등의 Trouble의 원인이 된다.
또 Pump에 사용되는 Oil이 진공 측으로 역류 하는것에 의해 질 좋은 진공이 얻어지지 않는 원인이 된다.
이런 문제점을 해결하기 위해서 Dry 진공 Pump는 알루미늄, 합금제를 채용하는 것에 의해 광범위하게 균열화가 가능하다.
H(고온형)과 L(저온형)의 두 종류의 Pump가 있다.
[H] : 고온형 Pump 본체의 Gas 통과 부분을 공냉에 의해 고온 영역으로 균열화하여 CVD, Ething등의 Process로 발생하는 승화 성 배기 물질을 Pump내부에 부착시키지 않도록 되어있다.
[L] : 저온형 Gas 통과부를 수냉으로 하는 것에 의해 저온 영역으로 균열화하여 고온에서 반응하는 Process Gas 배기 및 고온 진공 배기에 사용 된다.

드리이 펌프의 용도
Mechanical Booster pump 및 Turbo 분자 Pump와 조합하여 사용 되기도 하고 이런 Pump의 보조 Pump로도 사용 된다
주로 활성 Gas 배기 (CVD,Eching),또는 불활성 Gas 배기의 배기Pump로도 사용된다.


◎ 터보 분자 펌프
이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 저 회전자 와 그사이에 있는 고정자를 써서, 공기의 입자운동에 일정한 방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 것이다.
터보 분자 펌프는 10Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되는 전자 현미경이나 각종 반도체 생산 및 실험실 장비등에 많이 쓰이고 있다.
그러나 중×저진공 영역에서는 배기량이 저하됨으로 로타리 베인 펌프 등의 보조펌프와 함께 사용되고 있는 것이 일반적이다.

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1-2 펌 프


  1-2-1 펌프의 종류


  펌프란 전동기나 내연기관 등의 원동기로부터 기계적 에너지를 받아서, 액체에 운동 및 압력에너지를 주어 액체의 위치를 바꾸어 주는 기계이다. 펌프의 작용은 흡입과 토출에 의해 이루어진다. 흡입작용은 펌프내를 진공상태로 만들어 흡상시키는 것으로, 표준기압 상태에서 이론적으로 10.33[m]까지 흡입시킬 수 있다. 그러나 흡입관내의 마찰손실이나 물속에 함유된 공기 등에 의해 7[m] 이상은 흡상하지 않는다. 표 1.3에 고도에 따른 펌프의 이론상 흡입높이를 나타냈다.

  펌프의 종류는 구조 및 작동원리에 따라 표 1.4와 같이 터보형, 용적형, 특수형으로 나누이고, 용도에 따라 급수용, 배수용, 순환용, 소화용, 기름용 등이 있다.


표 1.3 고도에 따른 펌프의 흡입높이

고 도(해 발 m)

0

100

200

300

400

500

1,000

5,000

기 압(수은주 mm)

760

751

742

733

724

716

674

634

이론상 흡입높이(수주 m)

10.33

10.20

10.08

9.97

9.83

9.7

9.0

8.6

 

 

표 1-4 펌프의 종류

형식

작동방식

종   류

터보형

원심력식

원심펌프 - 볼류트 펌프(volute pump),

           터빈 펌프(디퓨저 펌프)

축류 펌프, 사류 펌프 

마찰펌프

용적형

왕복동식

피스톤 펌프, 플런저 펌프, 다이어프램 펌프

회전식

기어 펌프, 나사 펌프, 루츠 펌프, 베인 펌프, 캠 펌프

특 수 형

기포 펌프, 제트 펌프, 수격 펌프, 와류 펌프, 진공 펌프

점성 펌프, 전자 펌프


  1. 터보형 펌프


  깃(vane)을 가진 임펠러(impeller)의 회전에 의해 유입된 액체에 운동에너지를 부여하고, 다시 와류실(spiral casing)등의 구조에 의해 압력에너지로 변환시키는 형식의 펌프로서, 원심펌프, 사류펌프, 축류펌프가 있다. 그림 1.16에 터보형 펌프의 비교를, 그림 1.17에 임펠러 모양의 계통적 변화를 나타냈다.

  터보형 펌프는 용적형 펌프에 비해 진동이 적고 연속송수가 가능하다. 또한 구조가 간단하고, 취급이 용이하며, 운동성능도 양호하다. 토출량은 압력에 따라 변한다.

 

         

              (a) 원심펌프             (b)사류펌프               (c) 축류펌프

                                       그림 1.16  터보형 펌프의 비교                    


              

그림 1.17  임펠러형상의 계통적 변화


  (1) 원심펌프(centrifugal pump)  그림 1.16(a)와 같이 물이 축과 직각방향으로 된 임펠러로부터 흘러나와 스파이럴 케이싱에 모아져서 토출구로 이끌리는 펌프로서, 와권펌프라고도 한다. 급수용은 물론 설비의 각종 용도로 가장 많이 사용되고 있는 펌프이다.


  원심펌프는 임펠러(회전차;impeller)를 회전시켜 물에 회전력을 주어서 원심력 작용으로 양수하는 펌프로서, 깃(날개;vane)이 달린 임펠러, 안내깃(guide vane) 및 스파이럴 케이싱(spiral casing)으로 구성되었다.

  물은 먼저 흡입관을 통하여 임펠러 중심부에 들어가 깃 사이를 통과하는 사이에 회전력을 받아 압력이 증가하고, 안내깃을 지나는 동안 속도에너지는 압력에너지로 변화하면서 스파이럴 케이싱에 들어간다.

  안내깃은 임펠러의 바깥둘레에 배치한 고정 깃으로서, 임펠러에서 나오는 빠른 속도의 물을 안내하면서 속도에너지를 압력에너지로 바꾸어 주는 역할을 한다. 스파이럴 케이싱은 임펠러 또는 안내깃에서 나오는 물을 모아서 토출구에 유도하는 것으로, 점차로 통로를 넓게 하여 속도수두를 압력수두로 변화시킨다.


  원심펌프는 다음과 같이 분류할 수 있다.         


그림 1.18  원심펌프의 구조    

 

  ① 안내깃의 유무에 따라


  ○ 볼류트 펌프(volute pump) : 그림 1.19(a)와 같이 임펠러 둘레에 안내깃이 없이 스파이럴 케이싱이 있다. 양정 15[m] 이하의 저양정 펌프이다.

  ○ 터빈 펌프(turbine pump) : 그림 1.19(b)와 같이 임펠러와 스파이럴 케이싱 사이에 안내깃이 있는 펌프로서, 디퓨저 펌프(diffuser pump)라고도 한다. 양정 20[m] 이상의 고양정 펌프이다.

             

 

                   (a)  볼류트 펌프                              (b)  터빈펌프

         그림 1.19  원심펌프

 

   ② 단(stage)수에 따라

 

  ○ 단단펌프(single stage pump) : 임펠러가 1개만 있는 펌프로서 저양정에 사용한다.

  ○ 다단펌프(multi stage pump) : 1개의 축에 임펠러를 여러 개 장치하여 순차적으로 압력 을 증가시켜가는 펌프로서 고양정에 사용한다. 10단 이상의 펌프도 있다.

            (a) 단단펌프                                (b) 다단펌프

그림 1.20  원심펌프


  ③ 흡입구의 수에 따라 


  ○ 편흡입펌프(single suction pump) : 흡입구가 한쪽에만 있는 펌프이다.

  ○ 양흡입펌프(double suction pump) : 흡입구가 양쪽에 있는 펌프로소, 대유량 펌프이다.

 

        (a) 편흡입 펌프                            (b) 양흡입 펌프

                              그림 1.21  원심펌프


                      

그림 1.22  양흡입 펌프의 외형도


  (2) 축류펌프(axial flow pump)  그림 1,23에서와 같이 임펠러가 프로펠러형이고 물의 흐름이 축방향인 펌프로서, 저양정(보통 10m이하) 대유량에 사용한다. 농업용의 양수펌프, 배수펌프, 상・하수도용 펌프에 이용되고 있다.

  운전중에 임펠러 깃의 각도를 조정할 수 있는 장치가 설치된 가동익 축류펌프와 조정할 수 없는 고정익 축류펌프가 있다. 고정익 축류펌프를 단순히 축류펌프라 부른다.


                        (a) 구조도                        (b) 임펠러의 모양

                그림 1.23  축류펌프


  (3) 사류펌프(mixed flow pump) 축류펌프와 구조가 거의 같으나 임펠러의 모양은 그림 1.16(b)와 같이 물이 축과 경사방향으로 흐르도록 되어 있으며, 저양정 대유량에 사용되고 있다.


  (4) 마찰펌프(friction pump)  그림 1.24와 같이 둘레에 많은 홈을 가진 임펠러를 고속 회전시켜 케이싱 벽과의 마찰에너지에 의해 압력이 생겨 송수하는 펌프로서, 대표적인 것으로는 와류펌프(vortex pump) 일명 웨스코펌프(Westco rotary pump)가 있다. 구조가 간단하고 구경에 비해 고양정이나, 토출량이 적고 효율이 낮다. 운전 및 보수가 쉬어 주택의 소형 우물용 펌프, 보일러의 급수펌프에 적합하다.

                   

         

                   (a) 구조도                     (b) 임펠러의 모양

그림 1.24  마찰펌프


  (5)  보어홀 펌프(bore-hole pump) 깊은 우물물을 양수하는 펌프이나, 수중모터펌프 의 보급에 따라 최근에는 별로 사용되지 않는다. 모터를 지상에 설치하고 펌프의 임펠러 부분과 스트레이너는 우물 속에 넣어 긴 축으로 원동기와 임펠러를 연결하였다. 펌프의 구성은 우물 속에 있는 펌프부분과 이를 구동시키는 지상에 설치된 원동기 부분, 그리고 펌프와 원동기를 연결하는 긴 축부분과 축 외부의 양수관으로 구성되어 있다.

 

  (6) 수중모터펌프(submerged motor pump) 깊은 우물물을 양수하기 위한 펌프이다. 전동기와 펌프를 직결하여 일체로 만들고 여기에 양수관을 접속해서 우물 속에 넣어 전동기도 펌프와 같이 수중에서 작동하는 다단터빈펌프의 일종이다.

그림 1.25  깊은 우물용 펌프(수중 모터펌프)



  2. 용적형 펌프


  왕복부 또는 회전부에 공간을 두어 이 공간 내에 유체를 넣으면서 차례로 내 보내는 형식의 펌프로서, 왕복펌프와 회전펌프로 나누인다.

  용적형 펌프의 특징은 운전 중 토출량의 변동이 있으나, 고압이 발생되며 효율이 양호하다. 압력이 달라져도 토출량은 변하지 않는다.   


  (1) 왕복펌프(reciprocating pump)  피스톤(piston) 또는 플런저(plunger)가 실린더 내를 왕복운동 함으로서 액체를 흡입하여 소요의 압력으로 압축하여 토출하는 펌프이다. 펌프의 형식에는 여러 가지가 있다. 토출밸브를 피스톤에 장치한 수동형 펌프, 그림 1.27(a)와 같이 봉모양의 플런저가 왕복할 때마다 흡입과 토출을 하는 단동 플런저펌프, 그림 (b)와 같이 플런저의 1왕복마다 2회의 흡입과 토출이 이루어지는 복동 플런저 펌프가 있으며, 이 외에 유량을 많게 하고 토출량의 변화를 적게 하기 위해 단동을 2개 이상 병열로 연결한 펌프도 있다.

 

  왕복펌프는 양수량이 적으나 구조가 간단하며, 고양정(고압용)에 적당하다. 그러나 왕복동에서 생기는 송수압의 변동이 심하므로 토출량의 변화가 있으며 수량조절이 어렵다.

                     

  그림 1.26  왕복펌프의 구조


   

                     

                 (a) 단동 플런저 펌프                   (c) 복동 플런저 펌프     

                                    그림 1.27  플런저 펌프


  (2) 회전펌프(rotary pump)  1~3개의 회전자(rotor)의 회전에 의해 액체를 압송하는 펌프로서, 구조가 간단하고 취급이 용이하다. 펌프의 특징은 양수량의 변동이 적고, 고압을 얻기가 비교적 쉬우며, 기름 등의 점도가 높은 액체 수송에 적합하다.  회전자의 형상이나 구조에 따라 많은 종류가 있으나  대표적인 것으로는 베인펌프(vane pump), 톱니펌프(gear pump), 나사펌프(screw pump)등이 있다. 그림 1-9는 대표적인 회전펌프의 예를 나타낸 것이다.

 

                 (a) 베인펌프             (b) 톱니펌프                  (c) 나사펌프

그림 1.28  회전펌프

 

 

  3. 특수펌프


  (1) 기포펌프(air lift pump)  양수관 하단의 물속으로 압축공기를 송입하여 물의 비중을 가볍게 하고, 발생되는 기포의 부력을 이용해서 양수하는 펌프로서 공기양수펌프라고도 한다.

  펌프자체에 가동부분이 없어 구조가 간단하고 고장이 적다. 모래나 고형물 등 이물질을 포함한 물의 양수에 적합하다.(그림 1.29)


          

그림 1.29  공기양수펌프


  (2) 분사펌프(jet pump)  수중에 제트(jet)부를 설치하고 벤튜리관의 원리를 이용하여  증기 또는 물을 고속으로 노즐에서 분사시켜 압력저하에 의한 흡인작용으로 양수하는 펌프이다. 가동부가 없어 고장이 적고 취급이 간단하나 효율이 낮다.

  증기를 사용하여 보일러의 급수에 사용하는 인젝터(injector), 물 또는 공기를 사용해서 오수를 배출시키는 배수펌프, 깊은 우물의 양수에 사용되는 가정용 제트펌프(흡상높이 12m까지 가능) 등에 사용된다.(그림 1.30)

 

                            

 

                  (인젝터)

그림 1.30  분사펌프 

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1. NPSHa : SYSTEM에 관련된 값


  펌프 시스템의 흡입에서의 전양정이 펌핑액의 포화증기압보다 얼마 만큼 높은가를 나타내는 값

 

  NPSHa = Hsa - Hvpa (항상 절대압 기준임)

 

  Hsa = TOTAL SUCTION HEAD (흡입양정)

  Hvpa = 유체의 포화 증기압


2. NPSHr : PUMP 자체의 값 . 제조자의 실험치에 의해 결정됨.


펌프의 캐비테이션 방지를 위해 요구되는 최소한의 양정으로 HIS 규정에 따라, 고정 유량에서 양정이 3% 감소하는 순간의 NPSHa값을 펌프의 NPSHr 값으로 함.


3. NPSHa 값과 NPSHr 값의 중요성은 시스템에 관련된 NPSHa 값이 펌프 자체의 NPSHr값보다 커야지만 운전시 펌프가 흡입이 가능하며, 펌핑이 되기 때문에 펌프 선정시 가장 중요한 값임.

일반적으로 NPSHa값이 NPSHr값보다 1M 이상되도록 펌프를 선정하며, CONDENSATE등과 같이 아주 작은 경우는 30% 정도의 MARGIN이 생기도록 선정한다. 

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